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      1. 產品詳情
        • 真空回流爐

        • 德國ATV 公司一直致力于真空、熱處理設備的生產開發。其*杰出的真空回流爐焊接系統,通過紅外燈管加熱,在冷壁式腔體中實現快速升溫回流和硬釬焊的工藝。SRO-700桌上型真空回流爐,工作區域尺寸230mmX217mm。此款回流爐專為R&D、制程研發、低/高產量的生產而開發
        • 產品文檔:

        真空回流爐

        發布時間 : 2021-11-08 07:57

        ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑,業務專注于真空熱處理工藝設備,主要應用在混合電路、半導體和表面貼裝領域。;理想的焊接系統,帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO),是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D,工藝研發,由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現:與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送. 應用領域主要應用領域為無缺陷焊接和無助焊劑焊接、IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

        概述
        理想的焊接系統,通過紅外燈管加熱以及冷壁的回流爐(SRO)具備快速升降溫和硬釬焊的能力。此款回流爐專為R&D、制程研發、低/高產量的生產而開發。
        應用
        芯片貼裝、IGBT/DBC、高真空封裝、MEMS 器件封裝、IR 傳感器/晶體封裝、晶圓封裝、冷卻器/珀爾帖效應、低露點封裝、高功率LED、激光條、吸氣劑激活、合金處理、晶圓柱/焊球回流、銷翅片散熱器、支持、倒裝芯片3 D-CSP擴散接合,CPV,熱壓縮成鍵、銷鰭,混合組裝,MMIC芯片焊接、功率模塊、電動車輛控制、電力的太陽能電池
        特性
        標準*高溫度: 450°C,*大可支持到: 750°C 
        有效加熱尺寸: 230 x 217 mm
        快速升降溫速率

        • 升溫速率 > 3.5°C/秒
        • 降溫速率 > 2°C/秒
        單片晶圓升溫速率 > 20°C/second 
        每個程序*多可支持100個步驟 
        氧氣含量 < 1,0 ppm 
        甲酸系統 
        極限真空: ~ 5 x 10-5 mbar 
        助焊劑工藝回收系統


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